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特气注入系统
- 系统组成
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特气注入系统主要是在精密高性能电子元器件封焊的无水无氧的惰性气体保护环境手套箱内,将特殊气体注入到器件中的一整套附属设备系统。该系统可确保高纯度特气注入到元器件内部达到提高器件稳定可靠性的作用。可根据客户需求提供标准和定制产品。
(特气,全称特种气体,是指在大气压下不能自然存在的气体,通常是指纯度较高、制备和使用工艺较为复杂的气体。根据其化学成分和物理特性不同,特气可分为多种类型。)
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