真空加热系统

真空加热系统

一些对空气敏感、热稳定性较差的材料需要在真空、纯净的箱体环境中进行干燥处理，用于去除器件内部基板表面的水或溶剂，或在特定温度条件下对敏感材料进行干燥/固化，真空加热系统是实现这些功能的最为经济有效的一款产品，最高温度可达到180°C。

  • 系统组成
  • 主要技术参数

  • 该系统由涡旋干式真空泵、电磁阀以及真空压力表(或高温压力变送器)、加热烘箱、附属管道等组成。

    ★ 涡旋干式真空泵是一种无油容积式机械真空泵，具有结构简单，容积利用系数大，压缩比大，在较宽的压力范围内具有较稳定的抽速，真空度高，驱动力矩小，功率变化小，振动噪声低，性高等。

    ★ 加热烘箱功能与结构简述 

    烘箱作用是为了清除物料内部的水分。客户可选择大、小两种不同容积的烘箱。

    为了保证内、外两侧门的密封性，密封门采用线接触(氟橡胶密封圈)的方式密封，外侧门为手动打开式，内侧门有推拉和升降两种型式。

    箱内可同时烘烤2摞料盘，烘烤温度最高可达180℃。

  • 序号 项目 参数要求
    1 烘箱烘道尺寸(长·宽·高) 大烘箱440mm*300mm*+300mm,小烘箱395mm*260mm+240mm
    2 加热方式 内加热
    3 颜色 不锈钢本色
    4 输入电源 单相AC220V/50Hz
    5 加热功率 ≤2KW(2根加热管，每根1000W)
    6 N2输入 0.2Mpa ~0.4Mpa
    7 冷却方式 氮气冷却
    8 最小真空度 -0.1Mpa
    9 抽气速度 180L/min
    10 漏气速率 ≤200Pa/H
    11 控温范围 常温~180°C(箱内实际温度)、温度可调、精度±2%
    12 温度显示 显示箱内实际温度、测量位置:烘箱腔内中部距上壁15mm处
    13 温场均匀性 士10%(满载)
    14 升温速率 ≤60min/120°C(负载，参考)
    15 恒温定时 0~24h，时间至切断加热
    16 烘烤完成提示 烘烤完成后，予以提示
    17 隔热要求 烘箱加热时表面温度≤60°C
    18 安全保护 短路、过载保护、超温保护

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