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5轴精密激光封焊机
封帽机专用电极工装
真空加热系统
一些对空气敏感、热稳定性较差的材料需要在真空、纯净的箱体环境中进行干燥处理,用于去除器件内部基板表面的水或溶剂,或在特定温度条件下对敏感材料进行干燥/固化,真空加热系统是实现这些功能的最为经济有效的一款产品,最高温度可达到180°C。
气体纯化系统
在对高精密光通信、激光器、传感器器件进行同轴封装或蝶形封装时,不仅需要密闭的惰性气体环境,同时还需要保持箱体内的水氧含量小于5PPM,为了维持水氧含量稳定保持在规定的数值区间,就需要加装气体纯化系统,该系统能将手套箱内的气体不间断地循环,然后经过气体净化设备把手套箱体内的水氧和有机溶剂杂质除去。
特气注入系统